ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА РЕЗОНАТОРА ДЛЯ СИНТЕЗА АЛМАЗНЫХ ПЛЁНОК В ПЛАЗМЕННОМ СВЧ-РАЗРЯДЕ
Published in Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу • Jun 30, 2026
NobleIDNI3P417W370R604S152
Authors:,,
В.Д. Лаврененко
Aliaksey Sukhotski
D. V. Adamchuk
Abstract
Разработана техническая концепция установки для синтеза алмазных покрытий методом осаждения из газовой фазы, стимулированного плазменным СВЧ-разрядом (PE CVD). В работе приведены результаты, полученные на основе самосогласованной плазменной модели для объёмного резонатора, работающего на резонансной...
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!