Разработка технологии плазмохимического осаждения слоев диоксида кремния на поверхности большой площади при атмосферном давлении
Published in Electronic Library of Peter the Great Polytechnic University • Sep 4, 2026
NobleIDNI0P920W170R630S551
Authors:
Владимир Сергеевич Мухамедзянов
Abstract
Объектом исследования является технология плазмохимического осаждения тонких пленок диоксида кремния при атмосферном давлении. Цель работы — разработка технологии плазмохимического осаждения слоев оксида кремния на поверхностях большой площади при атмосферном давлении, создание экспериментальной уст...
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!